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深圳市金徠技術有限公司

ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.

PTFE(聚四氟乙烯/特氟龍/鐵氟龍)等離子蝕刻機

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等離子清洗機對PTFE聚四氟乙烯等離子表面處理工藝,實現對PTFE聚四氟乙烯材料的表面清洗、刻蝕、活化、接枝等改性處理,改善與提升PTFE聚四氟乙烯和金屬、塑膠、硅橡膠、陶瓷、金屬及粘合劑等物質粘接時的附著力。

型 號

JL-VM200

等離子源系統

頻  率

13.56MHz  射頻

40KHz  中頻

功  率

0~1000W可調

0-5000W可調

          選  配

真空系統

真空腔體

材質

316L不銹鋼、航空鋁(選配)

腔體內部尺寸(MM)

500*700*600(寬*高*深)

腔體容積

200L

極板

22層,水平式,活動可調節

密封性

軍工級焊接密封

真空泵

油泵/干泵+羅茨泵組合(選配)

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計

1×105~1×10-1Pa

質量流量計

<±1% FS

氣路控制

2-4路處理氣體氣路,氣體流量可調

極限真空

5Pa

適用氣體

流量范圍

0-500SCCM(可調)

工藝氣體

Ar、N?、O?、H?等等(可選)

1、PLC 自動控制;

2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面;

3、配方程序為 0~99;

4、多級權限操作;

5、圖形化曲線圖自動監測工藝參數狀態及錯誤信息;

6、存儲工藝數據及錯誤信息;

7、報警信息提示及追溯;

8、圖形化界面檢測處理參數;

9、自動、手動操作可切換;

10、維護提示緊急停止按鈕;

11、門感應器和真空互鎖;

12、機器運行信號指示;

13、機器運行結束提示;

外觀參數

外形尺寸(MM)

1050*1700*1080(寬高深)

重  量

800KG

設施配置

電  力

五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計
規范》等國標標準相關規定

壓縮空氣

干燥壓縮空氣CDA

其  它

提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊,易損件備件清單.


PTFE(聚四氟乙烯/特氟龍/鐵氟龍)等離子蝕刻機應用

      給物質施加高溫或通過加速電子、加速離子等方式給物質提供能量, 中性的物質被電離成大量帶電粒子 (電子、離子) 和中性粒子組成的混合狀態稱為等離子體。等離子體整體呈電中性, 它是除固態、液態、氣態外的物質第四種狀態。在所產生的等離子體中, 當電子溫度與離子溫度及氣體溫度相等時, 該等離子體稱為平衡等離子體或高溫等離子體;當電子溫度遠高于離子溫度和氣體溫度時, 該等離子體為非平衡等離子體或低溫等離子體。目前, 用于材料表面改性的主要是低溫等離子體。


      在材料表面改性中, 主要是利用低溫等離子體轟擊材料表面, 使材料表面分子的化學鍵被打開, 并與等離子體中的自由基結合, 在材料表面形成極性基團。由于表面增加了大量的極性基團, 從而能顯著地提高材料表面的粘接性能、印刷性能、染色性能等。低溫等離子體的能量一般為幾到幾十電子伏特 (電子0~20 eV, 離子0~2 eV, 亞穩態離子0~20 eV, 紫外光/可見光3~40 eV) , 而PTFE中C-F鍵鍵能為4.4 eV, C-C鍵鍵能為3.4 eV。由此可見, 低溫等離子體的能量高于這些化學鍵的能量, 足以使PTFE表面的分子鍵斷裂, 發生刻蝕、交聯、接枝等一系列物理化學反應。

      由于PTFE極低的表面活性和不粘性限制了它與其他復合材料的復合,特別是PTFE薄膜與其他骨架材料的粘結,因此必須對PTFE材料進行一定的表面改性,以提高其表面活性。  

      等離子表面處理使用氧氣氬氣,產生能量,當有足夠的能量就可以打開PTFE聚四氟乙烯的碳氟鍵,同時又有活性基團替代掉氟原子時,PTFE聚四氟乙烯就會變成極性聚合物,表面能得到提升,親水性得以改善。

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