<menuitem id="fdnrj"><strike id="fdnrj"><listing id="fdnrj"></listing></strike></menuitem>
<menuitem id="fdnrj"><ruby id="fdnrj"></ruby></menuitem>
<cite id="fdnrj"></cite>
<cite id="fdnrj"><strike id="fdnrj"></strike></cite>
<cite id="fdnrj"><video id="fdnrj"><thead id="fdnrj"></thead></video></cite>
<var id="fdnrj"><dl id="fdnrj"></dl></var>
<cite id="fdnrj"><video id="fdnrj"></video></cite><var id="fdnrj"><video id="fdnrj"></video></var><var id="fdnrj"><span id="fdnrj"><menuitem id="fdnrj"></menuitem></span></var><var id="fdnrj"></var>
<cite id="fdnrj"></cite><var id="fdnrj"><video id="fdnrj"></video></var>
<var id="fdnrj"></var>
<cite id="fdnrj"><span id="fdnrj"><menuitem id="fdnrj"></menuitem></span></cite>

深圳市金徠技術有限公司

ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.

外延片等離子刻蝕機

  • 產品型號 JL-E30
  • 產品類別 定制等離子表面處理設備
  • 應用范圍

    適用于所有的基材及復雜的幾何構形都可以進行等離子體活化、刻蝕、清洗、鍍膜。



返回列表 聯系我們

對外延片、晶圓、塑料、金屬材料等,進行介質刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕,實現各項異性刻蝕,保證細小圖形轉移后的保真性。

型  號

JL-E30

等離子源系統

頻  率

13.56MHz  射頻

功  率

0~500W    可調

真空系統

真空腔體

材質

石英、航空鋁(選配)

腔體內部尺寸(MM)

400*200*400

腔體容積

30L

極板

1層

密封性

軍工級焊接密封

真空泵

干泵

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計

薄膜硅

氣體流量計

<±1% FS

氣路控制

2路處理氣體氣路,氣體流量可調

極限真空

3Pa

適用氣體

流量范圍

0-500SCCM(可調)

工藝氣體

Ar、N?O?、H?等等(可選)

控制系統

1、PLC 自動控制;

2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面;

3、配方程序為 0~99;

4、多級權限操作;

5、圖形化曲線圖自動監測工藝參數狀態及錯誤信息;

6、存儲工藝數據及錯誤信息;

7、報警信息提示及追溯;

8、圖形化界面檢測處理參數;

9、自動、手動操作可切換;

10、維護提示緊急停止按鈕;

11、門感應器和真空互鎖;

12、機器運行信號指示;

13、機器運行結束提示;

外觀參數

外形尺寸(MM)

640*1700*840 (寬高深)

重  量

280KG

設施配置

電  力

五線,三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定。

壓縮空氣

干燥壓縮空氣CDA。

其  它

提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊,易損件備件清單。


外延片等離子刻蝕機應用

1、小技巧、操作簡單、易維護。

2、引進德國核心等離子技術,質量有保障。
3、進口針閥精密流量控制計,精度高。

4、材質耐腐蝕,環保不產生金屬污染。
5、多路工藝反應氣體通道,保證產品清洗效果。

6、可以根據客戶需求定制。


對外延片、晶圓、塑料、金屬材料等,進行介質刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕,實現各項異性刻蝕,保證細小圖形轉移后的保真性。


相關產品
精品国产欧美一区二区五十路-国产国产人免费观看在线视频-亚洲中文字幕无码专区-一本色道久久88加勒比—综合
<menuitem id="fdnrj"><strike id="fdnrj"><listing id="fdnrj"></listing></strike></menuitem>
<menuitem id="fdnrj"><ruby id="fdnrj"></ruby></menuitem>
<cite id="fdnrj"></cite>
<cite id="fdnrj"><strike id="fdnrj"></strike></cite>
<cite id="fdnrj"><video id="fdnrj"><thead id="fdnrj"></thead></video></cite>
<var id="fdnrj"><dl id="fdnrj"></dl></var>
<cite id="fdnrj"><video id="fdnrj"></video></cite><var id="fdnrj"><video id="fdnrj"></video></var><var id="fdnrj"><span id="fdnrj"><menuitem id="fdnrj"></menuitem></span></var><var id="fdnrj"></var>
<cite id="fdnrj"></cite><var id="fdnrj"><video id="fdnrj"></video></var>
<var id="fdnrj"></var>
<cite id="fdnrj"><span id="fdnrj"><menuitem id="fdnrj"></menuitem></span></cite>